[发明专利]含氟化合物、含氟高分子化合物、抗蚀剂组合物、顶涂层组合物和图案形成方法

摘要

本发明的含氟高分子化合物是包含通式(2)所示的重复单元(a)的、质均分子量为1,000～1,000,000的树脂。该树脂可以适用于利用300nm以下波长的高能射线或电子束来形成图案的抗蚀剂组合物、和浸没式光刻中的顶涂层组合物，其特征在于拒水性、特别是后退接触角大。(式中，R1表示含有聚合性双键的基团，R2表示氟原子或含氟烷基，R8表示取代或非取代的烷基等，W1表示单键、非取代或取代的亚甲基等。)

主权项

1.一种含氟高分子化合物，其包含下述通式(2)所示的重复单元(a)，且质均分子量为1,000～1,000,000，式(2)中，R¹表示下式所示的含有聚合性双键的基团的任一种，R²表示氟原子或含氟烷基，R⁸表示通式(4)所示的取代或非取代的烷基、或芳基，式(4)中，R⁶、R⁷相互独立地表示氢原子、取代或非取代的烷基或芳基，通式(4)的式中的碳原子、R⁶、R⁷可相互键合而形成脂环式烃基，R⁸中所含的任意个数的氢原子可以被卤素、羟基、烷基或含氟烷基、芳基取代，R⁸中所含的亚甲基(CH₂)可以被羰基(C＝O)、醚基(O)、酰亚胺基(NH)、硫醚基(S)、亚磺酰基(SO)、磺酰基(SO₂)取代，其中R⁸中所含的亚甲基不包括含有通式(4)中的C所表示的碳原子的亚甲基，W¹表示二价连接基团，所述二价连接基团具有选自由单键、非取代或取代的亚甲基、二价环状烷基(脂环式烃基)、二价芳基(芳香族烃基)、取代或非取代的稠合多环式芳香族基、二价杂环基、羰基、醚基、酯键、氧羰基键、硫醚基、酰胺键、磺酰胺键、氨基甲酸酯键、脲键组成的组中的单独1种或2种以上原子团的组合所形成的主骨架，连接基团可具有多个相同的原子团，与碳原子键合的任意个数的氢原子可以被氟原子取代，连接基团内各原子也可以相互键合而形成环。