[发明专利]用于注入激励光和从样本收集非弹性散射光的全反射设备无效

专利信息
申请号: 201080024323.4 申请日: 2010-05-24
公开(公告)号: CN102449451A 公开(公告)日: 2012-05-09
发明(设计)人: J·利普森;D·A·艾斯 申请(专利权)人: C8麦迪森瑟斯公司
主分类号: G01J3/44 分类号: G01J3/44
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 吴立明;杨移
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 公开了一种设备,其中激光辐射使用全反射光学器件照亮样本,并且其中使用同样的元件收集来自样本的非弹性散射光。该设备避免了以来自透射的光学器件的不需要的光谱污染激光辐射的问题,同时又提供了激光辐射相对于非弹性散射光的非常高的截止。此外,该设备能够收集和发射具有较高数值孔径和较大视场的光。
搜索关键词: 用于 注入 激励 光和 样本 收集 非弹性散射 全反射 设备
【主权项】:
一种用于将光学辐射发射到样本上并且收集来自样本的非弹性散射辐射的设备,包括:第一离轴反射器,其将标称准直的辐射聚焦到样本上,并且收集来自所述样本的散射辐射;至少一个滤光器,其中最靠近所述第一离轴反射器的滤光器反射来自光源的辐射,从而使得其被所述第一离轴反射器拦截,并且所述最靠近所述第一离轴反射器的滤光器使被所述第一离轴反射器反射的非弹性散射辐射透射,所述最靠近所述第一离轴反射器的滤光器以一定角度部署,从而使得来自所述光源的光束在其入射在所述滤光器上之前将不会被所述第一离轴反射器基本上拦截;以及用于聚焦由所述最靠近所述第一离轴反射器的滤光器透射的辐射的装置。
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