[发明专利]光学显微镜及光学计测有效
| 申请号： | 201080024399.7 | 申请日： | 2010-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN102575992A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 小关泰之;伊东一良;岳文宏;福井希一;梶山慎一郎;北川雄真;西泽典彦;住村和彦 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;G02B21/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 得到一种光学显微镜，抑制光源系统的复杂化，即使在为了降低激光的强度噪音的影响而提高了调制频率的情况下，也能够容易地对应。对试件(6)照射第一光脉冲串和第二光脉冲串，所述第一光脉冲串具有第一光频率，所述第二光脉冲串与所述第一光脉冲串在时间上同步，并且具有第二光频率，所述光学显微镜(100)检测来自所述试件(6)的散射光，所述第一光学生成的光脉冲串的重复频率是所述第二光源生成的光脉冲串的重复频率的整数分之一。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 显微镜 | ||
【主权项】：
一种光学显微镜，对试件照射第一光脉冲串和第二光脉冲串，所述第一光脉冲串由第一光源生成，具有第一光频率，所述第二光脉冲串与所述第一光脉冲串在时间上同步，由第二光源生成，具有第二光频率，所述光学显微镜检测来自所述试件的散射光，所述第一光源生成的光脉冲串的重复频率是所述第二光源生成的光脉冲串的重复频率的整数分之一。
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