[发明专利]具有两层的压电谐振器

摘要

一种压电谐振器装置包含五层。第一层和第五层包含一个或一个以上金属电极(400、420)。第二层(404)和第四层(402)包含压电材料。第三层(406)包含金属层。在所述第一层的第一区域中，所述第一层金属电极包括沿着一个维度的第一层周期性结构(420)，所述第一层周期性结构(420)包含所述一个或一个以上第一层金属电极中的一者和不具有第一层金属电极的空间。在所述第五层的第二区域中，所述第五层金属电极包括沿着所述一个维度的第五层周期性结构(400)，所述第五层周期性结构(400)包含所述一个或一个以上第五层金属电极中的一者和不具有第五层金属电极的空间。所述第一层周期性结构与所述第五层周期性结构对准，以使得所述一个或一个以上第五层金属电极中的所述一者在不具有第一层金属电极的所述空间下方居中，且所述一个或一个以上第一层金属电极中的所述一者在不具有第五层金属电极的所述空间上方居中，或所述第一层周期性结构与所述第五层周期性结构对准，以使得所述一个或一个以上第五层金属电极中的所述一者在所述第一层金属电极下方居中。

主权项

一种压电谐振器装置，其包含：第一层，其包括一个或一个以上第一层金属电极，其中在所述第一层的第一区域中包括沿着一个维度的第一层周期性结构，所述第一层周期性结构包含所述一个或一个以上第一层金属电极中的一者和不具有第一层金属电极的空间；第二层，其包含第一压电材料，其中所述第二层邻近于所述第一层；第三层，其包括一个或一个以上第三层金属电极，其中所述第三层邻近于所述第二层，与所述第一层相对；第四层，其包含第二压电材料，其中所述第四层邻近于所述第三层，与所述第二层相对；以及第五层，其包括一个或一个以上第五层金属电极，其中所述第五层邻近于所述第四层，与所述第三层相对，且其中在所述第五层的第二区域中包括沿着所述一个维度的第五层周期性结构，所述第五层周期性结构包含所述一个或一个以上第五层金属电极中的一者和不具有第五层金属电极的空间，其中在所述第一层或所述第五层中的所述金属电极中的第一金属电极耦合到经配置以提供第一信号的第一触点，且在所述第一层或所述第五层中的所述金属电极中的第二金属电极耦合到经配置以提供第二信号的第二触点。