[发明专利]放射线敏感性树脂组合物

摘要

本发明提供一种放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有(A)含有酸解离性基团的树脂和(C)通式(i)表示的化合物(通式(i)中，R¹表示氢原子等；R²表示单键等；R³表示氢原子的一部分或全部可以被氟原子取代的、碳原子数为1～10的直链状的1价烃基等；X⁺表示阳离子)。

主权项

1.一种放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有(A)含有酸解离性基团的树脂和(C)下述通式(i)表示的化合物，所述通式(i)中，R¹表示氢原子，氢原子的一部分或全部可以被氟原子、羟基、-OR基、-OCOR基或-COOR基取代的、碳原子数为1～10的直链状或支链状的1价烃基或者碳原子数为3～20的环状或具有环状的部分结构的1价烃基，其中，R表示碳原子数为1～10的直链状或支链状的1价烃基、或者碳原子数为3～20的环状或具有环状的部分结构的1价烃基；R²表示单键或者-O-(C＝O)-基；R³表示氢原子的一部分或全部可以被氟原子取代的、碳原子数为1～10的直链状或支链状的1价烃基或者碳原子数为3～20的环状或具有环状的部分结构的1价烃基，X⁺表示阳离子。