[发明专利]脉冲调制高频功率控制方法以及脉冲调制高频电源装置有效
| 申请号： | 201080026414.1 | 申请日： | 2010-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN102474971B | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 让原逸男;秦佳久 | 申请（专利权）人： | 株式会社京三制作所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/205;H01L21/3065;H03F3/217;H03K5/00;H03K5/156;H05H1/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;郭凤麟 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种脉冲调制高频功率控制方法，具有用于控制脉冲输出的振幅的输出振幅控制步骤和用于控制脉冲输出的占空比的占空比控制步骤。输出振幅控制步骤控制脉冲输出的振幅值，进行使振幅值成为设定振幅值的恒定振幅控制。基于输出振幅控制的恒定振幅控制，例如反馈通过功率控制输出的脉冲输出的振幅值，求出该反馈值和预先设定的设定振幅值的差值，控制脉冲输出的振幅值使该差值成为零。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲调制 高频 功率 控制 方法 以及 电源 装置 | ||
【主权项】：
一种脉冲调制高频功率控制方法，其控制供给负载阻抗因等离子体状态而变动的负载的高频功率，该脉冲调制高频功率控制方法的特征在于，通过对在时间上断续地输出直流输入功率而形成的脉冲输出进行脉冲调制，来进行所述高频功率的控制，所述脉冲调制具备：控制所述脉冲输出的振幅的输出振幅控制步骤；以及控制通过所述输出振幅控制步骤进行振幅控制而得的脉冲输出的占空比的占空比控制步骤，将峰值行波功率设为所述脉冲输出的控制对象，所述输出振幅控制步骤进行使峰值行波功率的振幅值成为设定振幅值的恒定振幅控制，所述占空比控制步骤控制通过所述输出振幅控制步骤进行恒定振幅控制而得的脉冲输出的占空比，进行使由占空比决定的峰值行波功率的平均功率值成为设定功率值的恒定功率控制，根据向负载的供给功率的变动，分别独立地进行所述输出振幅控制步骤和所述占空比控制步骤，对高频功率进行脉冲调制。
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