[发明专利]分割环状肋型等离子处理装置有效
| 申请号： | 201080028940.1 | 申请日： | 2010-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN102471872A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 椎名祐一;渡边岩 | 申请（专利权）人： | 日本磁性技术株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/24;H05H1/48 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 吕林红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于防止形成在等离子处理装置中的小滴捕集用的环状肋上的、由等离子流产生的堆积物落下到等离子发生部而引起短路。将小滴捕集用的环状肋分割成多个肋片，从而实现由等离子流的物质的凝集形成在上述环状肋上的堆积物的、在形成最初阶段的细化。借助于该堆积物的细化，当该堆积物作为碎片落下到等离子发生部时，该碎片进入到设在阴极与上述等离子发生部的壁面之间的槽部，上述阴极与上述壁面的电短路得到防止。 | ||
| 搜索关键词： | 分割 环状 等离子 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种分割环状肋型等离子处理装置，将在等离子发生部由放电发生了的等离子，通过在内面配置了小滴捕集用的多个环状肋的等离子行进管输送到等离子处理部，其特征在于：至少所述环状肋中的被曝露于所述等离子的最前端的第1环状肋由多分割型环状肋构成，该多分割型环状肋通过多个切缝分割成多个肋片。
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