[发明专利]光学式膜厚计以及具有光学式膜厚计的薄膜形成装置

摘要

本发明提供能够高精度地计测光学膜厚和分光特性的光学式膜厚计以及具有光学式膜厚计的薄膜形成装置。光学式膜厚计由投光器(11)、反射镜(17)、受光器(19)和分光器(20)构成，具有反射镜(17)，该反射镜(17)相对于测定光的入射方向位于实际基板(S)的相反侧，且反射面被配置成与测定光的光轴大致垂直。另外，实际基板(S)被配置成相对于测定光的光轴具有规定的倾斜角度(α)。测定光(出射光和反射光)2次透过实际基板(S)，能够增大透过率(光量)的变化量，能够提高膜厚测定的控制精度。另外，能够防止因透过位置的不同而产生测定误差，另外，在受光器(19)侧不会检测到未通过规定路径而2次透过测定基板的测定光，所以能够高精度地计测光学膜厚和分光特性。

主权项

一种光学式膜厚计，该光学式膜厚计使测定光透过实际基板来测定光学膜厚，其特征在于，该光学式膜厚计具备：投光单元，其向上述实际基板射出作为上述测定光的出射光；反射镜，其在隔着上述实际基板与上述投光单元相反侧的位置处反射上述出射光；受光单元，其接收透过上述实际基板且由上述反射镜反射而透过上述实际基板的上述测定光；以及光检测单元，其检测该受光单元所接收到的上述测定光，上述实际基板被配置成相对于由上述投光单元和上述反射镜构成的光学系统倾斜，上述实际基板以相对于上述测定光的光轴具有规定角度的方式被配置在上述反射镜与上述投光单元之间的位置。