[发明专利]坐标测量机（CMM）和补偿坐标测量机误差的方法

摘要

本发明涉及一种用于确定待测物体(12)上的测量点(13)的至少一个空间坐标的坐标测量机(1)。所述坐标测量机包括：基座(3)；探头(6)，所述探头用于接近所述测量点(13)；以及框架结构(15)，所述框架结构用于将所述探头(6)连接到所述基座(3)。由此，所述框架结构包括：至少第一框架部件和第二框架部件(14，22，24)；以及至少一个线性驱动机构(2)，所述至少一个线性驱动机构可动地连接所述第一框架部件和所述第二框架部件(14，22，24)，以提供所述探头(6)相对于所述基座(3)沿第一方向(X，Y，Z)的可动性。按照本发明，沿着所述框架结构(15)的第一部分延伸的第一机械基准元件(72)以基本无负载的方式被固定地紧固至所述框架结构(15)，并且为所述第一基准元件(72)配置至少一个位移传感器(9，9a，9b)，其中，所述第一基准元件(72)和所述位移传感器(9，9a，9b)是如此设计和布置的，即，能够测量从所述第一基准元件(72)到在所述第一部分的区域中的所述框架结构(15)的距离，所述距离表明所述框架结构(15)在所述第一部分的区域中的位移和/或变形。

主权项

一种坐标测量机(1)，其用于确定待测物体(12)上的测量点(13)的至少一个空间坐标，所述坐标测量机包括：●基座(3)；●探头(6)，所述探头用于接近所述测量点(13)；●框架结构(15)，所述框架结构(15)用于将所述探头(6)连接到所述基座(3)，所述框架结构(15)包括：□至少第一框架部件和第二框架部件(14，22，24)；以及□至少一个线性驱动机构，所述至少一个线性驱动机构可动地连接所述第一框架部件和所述第二框架部件(14，22，24)，以提供所述探头(6)相对于所述基座(3)沿第一方向(X，Y，Z)的可动性，其特征在于：●沿着所述框架结构(15)的第一部分延伸的至少第一机械基准元件(72)，其中，所述第一基准元件(72)以基本无负载的方式被固定地紧固至所述框架结构(15)，并且●为所述第一基准元件(72)配置至少一个位移传感器(9，9a，9b)，所述第一基准元件(72)和所述位移传感器(9，9a，9b)是如此设计和布置的，即，能够测量在所述第一部分的区域中从所述第一基准元件(72)到所述框架结构(15)的距离，所述距离表明所述框架结构(15)在所述第一部分的区域中的位移和/或变形。