[发明专利]对容器进行等离子体处理的装置和方法有效
| 申请号： | 201080030525.X | 申请日： | 2010-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN102460635A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·R·汉森;莫塞斯·M·大卫;大卫·J·怀特;简·A·凯利;托德·D·阿尔班德 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;B05D7/22;C23C16/04 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 张爽;樊卫民 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对多个容器进行等离子体处理的装置(9)。所述装置包括：歧管(2)，其包括具有多个出口开口的第一室，以及多个中空导电喷嘴(10)，其用于执行传送或排出等离子体发生气体中的至少一个过程。所述多个中空导电喷嘴连接到所述多个出口开口并且从所述歧管突出。本发明还公开了一种对多个容器进行等离子体处理的方法。所述方法包括：提供包括本文所公开的装置的反应器系统；将所述多个中空导电喷嘴插入所述多个容器(30)中；对所述多个容器进行排气；将所述多个中空导电喷嘴接地同时向所述多个容器施加射频功率；将气体供应到所述容器内部，并且生成等离子体。通过中空导电喷嘴执行排出所述气体或供应所述气体中的至少一个过程。 | ||
| 搜索关键词： | 容器 进行 等离子体 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种对多个容器进行等离子体处理的装置，所述装置包括：歧管，其包括具有多个出口开口的第一室；以及多个中空导电喷嘴，其用于执行传送或排出等离子体发生气体中的至少一个过程，其中所述多个中空导电喷嘴连接到所述多个出口开口并且从所述歧管突出。
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