[发明专利]光刻用共聚物及其评价方法

摘要

提供不用实际制备光刻用组合物也可以评价含有光刻用共聚物的光刻用组合物的光刻特性的方法。根据将光刻用共聚物溶解在溶剂中制备测试溶液的工序，及将所述测试溶液中的凝胶状物质分离的工序，及求出所述凝胶状物质中结构单元的组成比减去所述光刻用共聚物中结构单元的组成比的差相对于所述光刻用共聚物中结构单元的组成比的比例表示的组成比变化率的工序，以及所述组成比变化率，评价含有所述光刻用共聚物的光刻用组合物的光刻特性。

主权项

一种光刻用共聚物，其特征在于，所述共聚物的制造方法具有向反应器内滴下单体和聚合引发剂的同时，在所述反应器内将2种以上的单体α₁～α_n聚合，得到由结构单元α’₁～α’_n构成的聚合物的聚合工序，所述聚合工序中，将各自组成不同的第1溶液和第2溶液供给至反应器，所述第1溶液在所述第2溶液之前供给至容器中，所述第1溶液的组成设计为，随着所述第2溶液的供给，第2溶液滴下后瞬间生成的聚合物分子的结构单元的含有比例与目标组成相同，所述第2溶液的组成与想要得到的聚合物组成相同；且该共聚物通过下述光刻用共聚物的处理工序测定的组成比变化率在6%以下：将光刻用共聚物溶解于丙二醇单甲醚乙酸酯中，制备浓度为2.5质量%的测试溶液的工序（v）；向所述测试溶液中加入不良溶剂直到波长450nm处的透射率为85±3%的工序（vi）；将所述测试溶液中的凝胶状物质在相对离心加速度50万G、处理温度4℃、处理时间4小时的条件下离心分离的分离工序（vii）；用核磁共振装置NMR求出所述凝胶状物质中相应的一种结构单元的组成比减去所述光刻用共聚物中的结构单元的组成比的差相对所述光刻用共聚物中的至少一种结构单元的组成比的比例所表示的组成比变化率的工序（viii）。