[发明专利]高性能功率开关无效
申请号: | 201080031624.X | 申请日: | 2010-07-12 |
公开(公告)号: | CN102473720A | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 石俊夏;莱斯特·F·伊士曼 | 申请(专利权)人: | 康奈尔大学 |
主分类号: | H01L29/04 | 分类号: | H01L29/04 |
代理公司: | 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 | 代理人: | 杨颖;张一军 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 在一个例子中,描述了一种新的高性能AlGaN/GaN金属-绝缘体-半导体异质结构构场效应晶体管(MISHFET),其使用HfO2作为表面钝化和栅极绝缘体来制作。在击穿之前,栅极和漏极漏电流被急剧减小到几十nA。在无场极板的情况下,对于10μm的栅极-漏极间隔,关断状态击穿电压是1035V,具有0.9mΩ-cm2的单位导通电阻。另外,从脉冲测量结果没有观察到电流陡降。这是对蓝宝石上的基于GaN的快速功率开关器件的至今为止所报告的最佳的性能,它有效地将优越器件的正向特性、反向特性和开关特性结合起来。这里还提及了其它的变体、特征和例子。 | ||
搜索关键词: | 性能 功率 开关 | ||
【主权项】:
一种晶体管器件,所述晶体管器件包括:第一半导体层;第二半导体层;以及由HfO2或者任何铪和氧化物复合物的变体构成的钝化层。
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