[发明专利]布线构造及其制造方法、以及具备布线构造的显示装置有效
申请号: | 201080031806.7 | 申请日: | 2010-07-27 |
公开(公告)号: | CN102473730A | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 后藤裕史;前田刚彰 | 申请(专利权)人: | 株式会社神户制钢所 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L21/336;H01L29/417 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 樊建中 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种布线构造,其在有机EL显示器或液晶显示器等显示装置中,能够使半导体层与构成例如源极电极、漏极电极的Al系膜稳定地直接连接,并且在湿法工艺所使用的电解质液中,所述半导体层和Al系膜之间难以产生电化腐蚀,能够抑制Al系膜的剥离。布线构造在基板上从基板侧依次具备薄膜晶体管的半导体层、和与所述半导体层直接连接的Al合金膜,所述半导体层由氧化物半导体构成,所述Al合金膜包含Ni以及Co中的至少一种。 | ||
搜索关键词: | 布线 构造 及其 制造 方法 以及 具备 显示装置 | ||
【主权项】:
一种布线构造,在基板上从基板侧依次具备薄膜晶体管的半导体层、和与所述半导体层直接连接的Al合金膜,所述半导体层由氧化物半导体构成,所述Al合金膜包含Ni以及Co中的至少一种。
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