[发明专利]用于VHF阻抗匹配调节的设备有效
| 申请号： | 201080032374.1 | 申请日： | 2010-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN102474973A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 卡尔蒂克·拉马斯瓦米;塙广二;肯尼思·S·柯林斯;劳伦斯·黄;萨姆尔·班纳;安德鲁·源 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H03H7/40 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文提供阻抗匹配网络的实施例。在一些实施例中，阻抗匹配网络可包括同轴共振器，该同轴共振器具有内导体与外导体。可提供调节电容器，其用以可改变地控制该同轴共振器的共振频率。该调节电容器可由第一调节电极、第二调节电极与中置电介质来形成，其中该第一调节电极由该内导体的一部分来形成。可提供负载电容器，其用以可改变地将来自该内导体的能量耦合到负载。该负载电容器可由该内导体、可调整负载电极与中置电介质来形成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 vhf 阻抗匹配 调节 设备 | ||
【主权项】：
一种阻抗匹配网络，包含：同轴共振器，其具有内导体与外导体；调节电容器，用于可变化地控制所述同轴共振器的共振频率，所述同轴共振器由第一调节电极、第二调节电极与中置电介质形成，其中，所述第一调节电极由所述内导体的一部分形成；及负载电容器，用于可变化地将来自所述内导体的能量耦合到负载，所述负载电容器由所述内导体、可调整负载电极与中置电介质形成。
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