[发明专利]具有低响应时间和高灵敏度的热流量传感器集成电路有效
| 申请号： | 201080032921.6 | 申请日： | 2010-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN102472648A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | J·R·哈尔曾;R·德克尔;P·德格拉夫;N·J·A·范费恩;A·T·J·M·席佩尔 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 蔡洪贵 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于基于温度测量感测流体通道内的流动的热流量传感器集成电路，所述集成电路包括在所述集成电路的前侧被布置成面向所述通道的温度感测元件(30)；以及被电连接到温度感测元件的接合焊盘(60，200)，用于与集成电路形成电接触，所述接合焊盘被布置成背离所述通道朝向。通过使接合焊盘背离所述通道朝向，用于接合焊盘和到接合焊盘的任何连接所需要的空间不需要延伸到温度感测件之外以及妨碍流体通道。因此温度感测元件可以位于更接近于通道或在通道内，使得能够以更好的响应时间和灵敏度来测量。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 响应 时间 灵敏度 流量传感器 集成电路 | ||
【主权项】：
一种用于基于温度测量感测流体通道内的流动的热流量传感器装置，所述装置包括：在所述热流量传感器装置的前侧被布置成面向所述通道的电驱动热元件(30)；以及被电连接到所述电驱动热元件的接合焊盘(60，200)，用于与所述热流量传感器装置形成电接触，所述接合焊盘被布置成背离所述前侧朝向，从而从所述热流量传感器装置的背侧可接近以便接触。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于皇家飞利浦电子股份有限公司，未经皇家飞利浦电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080032921.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
