[发明专利]产生二级图案以供光刻处理的方法和使用该方法的图案产生器有效
| 申请号： | 201080032950.2 | 申请日： | 2010-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN102460632A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | T.范德皮尤特;M.J-J.维兰德 | 申请（专利权）人： | 迈普尔平版印刷IP有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 丁艺;沙捷 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种通过多个小射束来产生一个二级图案以供光刻处理的方法。在该方法中，首先，提供一呈向量格式的图案。接着，将该向量格式图案转换成一像素图格式的图案。最后，通过在该像素图格式图案上应用误差扩散来形成一个二级图案。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 二级 图案 光刻 处理 方法 使用 产生器 | ||
【主权项】：
一种通过多个小射束来产生二级图案以供光刻处理的方法，该方法包括：提供呈向量格式的图案；将所述向量格式图案转换成呈像素图格式的图案；以及通过在该像素图格式的图案上应用误差扩散来形成二级图案。
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