[发明专利]角速度传感器

摘要

本发明提供一种角速度传感器，包括：振动体；第一及第二感知电极，根据施加在振动体上的角速度而产生电荷；第一及第二DA变换部，至少输出2个电平量的电荷；第一及第二积分电路，对第一及第二感知电极中产生的电荷与从第一及第二DA变换部输出的电荷分别进行积分；比较部，其对来自第一及第二积分电路的输出信号进行比较；第一及第二DA切换部，基于比较部的比较结果，对来自第一及第二DA变换部的输出信号的电平分别进行切换；第一断线检测开关，其被连接在第一感知电极与第一积分电路之间；第一电压源，其经由第一断线检测开关，向第一感知电极与第一积分电路之间注入电荷；第二断线检测开关，其被连接在第二感知电极与第二积分电路之间；和第二电压源，其经由第二断线检测开关，向第二感知电极与第二积分电路之间注入电荷。该角速度传感器即使周围的环境发生变化也会稳定地工作，具有高的可靠性。

主权项

一种角速度传感器，其包括：振动体；第一感知电极，其被设置在所述振动体中，根据施加在所述振动体上的角速度来产生电荷；第二感知电极，其被设置在所述振动体中，根据所述角速度来产生电荷；驱动电路，其使所述振动体以规定的驱动频率振动；第一DA变换部，其输出至少2个电平量的电荷；第二DA变换部，其输出至少2个电平量的电荷；第一积分电路，其对所述第一感知电极中产生的所述电荷与从所述第一DA变换部输出的电荷进行积分；第二积分电路，其对所述第二感知电极中产生的所述电荷与从所述第二DA变换部输出的电荷进行积分；比较部，其对来自所述第一积分电路的输出信号与来自所述第二积分电路的输出信号进行比较；第一DA切换部，其基于所述比较部的比较结果，对来自所述第一DA变换部的输出信号的电平进行切换；第二DA切换部，其基于所述比较部的比较结果，对来自所述第二DA变换部的输出信号的电平进行切换；第一断线检测开关，其被连接在所述第一感知电极与所述第一积分电路之间；第一电压源，其经由所述第一断线检测开关，向所述第一感知电极与所述第一积分电路之间注入电荷；第二断线检测开关，其被连接在所述第二感知电极与所述第二积分电路之间；以及第二电压源，其经由所述第二断线检测开关，向所述第二感知电极与所述第二积分电路之间注入电荷。