[发明专利]超声波探头及超声波摄像装置

摘要

本发明提供一种超声波探头及超声波摄像装置，可降低因在静电电容式微型超声波换能器的微囊形状具有各向异性时产生的高次振动模式引起的不必要的响应。在将构成静电电容式微型超声波换能器的振动膜的长的方向(l)和短的方向(w)之比设为代表纵横比(l/w)的情况下，将代表纵横比设定成使在探头的收发频带宽度内不形成6dB以上的下降(dip)的值。或者，将代表纵横比的值设定成使存在奇数个腹部数的振动模式的频率除以基本模式频率后而得到的值为2以下的振动模式的数目有6个以上的值。

主权项

一种超声波探头，由静电电容式微型设备形成，所述静电电容式微型设备具有具备第1电极的基板和具备第2电极的振动膜，所述振动膜的周缘部被从所述基板立起的支撑壁固定在所述基板上，在所述基板和所述振动膜之间形成空隙层，并且所述静电电容式微型设备是从所述振动膜的中心到固定所述振动膜的周缘部为止的距离不均等的微囊形状，所述超声波探头的特征在于，将所述振动膜的第1轴方向的长度和正交于该第1轴的第2轴方向的长度之比作为代表纵横比时，所述代表纵横比的值被设定为能够在所述超声波探头的发送以及/或者接收的频带宽度内将局部产生的振幅下降或灵敏度下降的频率的信号电平抑制成小于规定值的值。