[发明专利]太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法以及供给装置有效
| 申请号： | 201080033515.1 | 申请日： | 2010-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN102471061A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 伊藤吉则;高桥康弘 | 申请（专利权）人： | 大阳日酸株式会社 |
| 主分类号： | C01B19/00 | 分类号： | C01B19/00;H01L31/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 杨晶;王琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法，具有供给工序，通过对从基本气体供给流路(L1)供给的惰性气体与从原料气体供给流路(L2)供给的100％硒化氢气体进行混合，来供给已调整为规定浓度的硒化氢混合气体，在所述供给工序中，通过设置于该原料气体供给流路(L2)的流量控制单元(12)，将所述100％硒化氢气体的流量控制为规定流量，并通过在所述流量控制单元(12)的下游侧设置的压力控制单元(13)，将所述流量控制单元(12)与该压力控制单元(13)之间的所述100％硒化氢气体的压力控制为规定压力。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 用硒化氢 混合气体 供给 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法，具有供给工序，通过对从基本气体供给流路供给的惰性气体与从原料气体供给流路供给的100％硒化氢气体进行混合，来供给已调整为规定浓度的硒化氢混合气体，在所述供给工序中，通过设置于所述原料气体供给流路的流量控制单元，将所述100％硒化氢气体的流量控制为规定流量，并通过在所述流量控制单元的下游侧设置的压力控制单元，将所述流量控制单元与该压力控制单元之间的所述100％硒化氢气体的压力控制为规定压力。
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