[发明专利]用于测量工艺流体中的氧气分压的电化学传感器及测试其功能的方法

摘要

本发明涉及用于测量工艺流体中的氧气分压的电化学传感器，该传感器包括：充满电解质的传感器体(2)，其在接触工艺流体(4)一侧由氧气可渗透的膜(5)覆盖；在膜(5)上的阴极(8)；环形保护电极(9)，环绕阴极(8)并且在测量模式下具有与阴极(8)相同的电势；在传感器体(2)中的与电解质(3)接触的阳极(10)；在传感器体(2)中与电解质(3)接触的参考电极(11)，其中在阳极(10)和阴极(8)之间施加电压(23)，该电压在阴极(8)和参考电极(11)之间被调节到恒定极化电压(UPOL)并且在测量模式下，在阴极(8)和阳极(10)之间流动的测量传感器电流(I测量)是在工艺流体(4)中的氧气分压的测量值；以及测试电压源(17)，其在测试模式中，被切换在阴极(8)和保护电极(11)之间以在电解质(3)中和/或在阴极(8)和保护电极(9)之间过程流体(4)中产生测试氧气以用于测试传感器的功能。

主权项

一种用于测量工艺流体中的氧气分压的电化学传感器，所述传感器包括：电解质填充的传感器体(2)，在被工艺流体(4)填充的一侧上由氧气可渗透的膜(5)覆盖，阴极(8)，在所述膜(5)上，环状保护电极(9)，环绕所述阴极(8)，在测量操作中与所述阴极(8)的电势相同，阳极(10)，被所述传感器体(2)中的所述电解质(3)填充，以及参考电极(11)，被在所述传感器体(2)中的所述电解质(3)填充，其中在所述阳极(10)和所述阴极(8)之间施加电压(23)，所述电压在所述阴极(8)和所述参考电极(11)之间被控制在恒定极化电压(UPOL)，并且其中在测量操作中在所述阴极(8)和所述阳极(10)之间流动的测量传感器电流(I测量)是在所述工艺流体(4)中的氧气分压的测量值，其特征在于，测试电压源(17)，在测试模式中，所述测试电压源(17)被切换在所述阴极(8)和所述保护电极(9)之间以在所述电解质(3)中和/或在所述阴极(8)和所述保护电极(9)之间的所述工艺流体(4)中产生测试氧气以用于测试所述传感器的功能。