[发明专利]角速度传感器和用于它的同步检波电路无效
申请号: | 201080035966.9 | 申请日: | 2010-06-21 |
公开(公告)号: | CN102472624A | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 林启;山田宣幸;吉田武司 | 申请(专利权)人: | 罗姆股份有限公司 |
主分类号: | G01C19/5776 | 分类号: | G01C19/5776;H01L41/08 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 邸万奎 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在本发明的角速度传感器中,将第1压电元件(D1)的上部电极(11)和第2压电元件(D2)的下部电极(12)连接到第1Q/V变换电路(21)的输入端子(21a),同时将第1压电元件(D1)的下部电极(12)和第2压电元件(D2)的上部电极(11)连接到第2Q/V变换电路(22)的输入端子(22a)。由此,使第1和第2压电元件(D1、D2)上产生的电荷量的振动噪声成分相互抵消,同时将第1和第2压电元件(D1、D2)上产生的电荷量的科里奥利成分进行相加运算,仅取出科里奥利成分。 | ||
搜索关键词: | 角速度 传感器 用于 同步 检波 电路 | ||
【主权项】:
角速度传感器,包括:环状的挠性部,其沿XY平面配置,Z轴贯通其中心;锤部,其被支承于所述挠性部的内侧的边缘;支承部,其支承所述挠性部的外侧的边缘;驱动部,其使所述锤部在所述Z轴的方向上振动;第1压电元件,其设置在X轴或Y轴的正侧,其第1电极固定于所述挠性部的表面;第2压电元件,其设置在所述X轴或所述Y轴的负侧,其第1电极固定于所述挠性部的表面;以及运算电路,基于在所述第1压电元件和第2压电元件各自的第1电极和第2电极上产生的电荷量,求绕所述Y轴或所述X轴旋转的角速度,所述第1压电元件的第1电极和第2电极分别连接到所述第2压电元件的所述第2电极和第1电极。
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