[发明专利]角速度传感器和用于它的同步检波电路无效

专利信息
申请号: 201080035966.9 申请日: 2010-06-21
公开(公告)号: CN102472624A 公开(公告)日: 2012-05-23
发明(设计)人: 林启;山田宣幸;吉田武司 申请(专利权)人: 罗姆股份有限公司
主分类号: G01C19/5776 分类号: G01C19/5776;H01L41/08
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 邸万奎
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 在本发明的角速度传感器中,将第1压电元件(D1)的上部电极(11)和第2压电元件(D2)的下部电极(12)连接到第1Q/V变换电路(21)的输入端子(21a),同时将第1压电元件(D1)的下部电极(12)和第2压电元件(D2)的上部电极(11)连接到第2Q/V变换电路(22)的输入端子(22a)。由此,使第1和第2压电元件(D1、D2)上产生的电荷量的振动噪声成分相互抵消,同时将第1和第2压电元件(D1、D2)上产生的电荷量的科里奥利成分进行相加运算,仅取出科里奥利成分。
搜索关键词: 角速度 传感器 用于 同步 检波 电路
【主权项】:
角速度传感器,包括:环状的挠性部,其沿XY平面配置,Z轴贯通其中心;锤部,其被支承于所述挠性部的内侧的边缘;支承部,其支承所述挠性部的外侧的边缘;驱动部,其使所述锤部在所述Z轴的方向上振动;第1压电元件,其设置在X轴或Y轴的正侧,其第1电极固定于所述挠性部的表面;第2压电元件,其设置在所述X轴或所述Y轴的负侧,其第1电极固定于所述挠性部的表面;以及运算电路,基于在所述第1压电元件和第2压电元件各自的第1电极和第2电极上产生的电荷量,求绕所述Y轴或所述X轴旋转的角速度,所述第1压电元件的第1电极和第2电极分别连接到所述第2压电元件的所述第2电极和第1电极。
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