[发明专利]真空系统有效
| 申请号： | 201080036003.0 | 申请日： | 2010-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN102473579A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | I.D.斯通斯 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/24 | 分类号： | H01J49/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 董均华;谭祐祥 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空系统（12），包括串联连接的多个真空腔室（14，16，18，20）和用于有差别地泵送所述腔室的真空泵送装置（10）。所述真空泵送装置包括：主泵（22），所述主泵具有被连接用于泵送第一真空腔室（14）的入口（23）和用于在大气压处或周围排放的出口（25）；增压泵（24），所述增压泵具有被连接用于泵送第二真空腔室（16）的入口（27）和连接到主泵入口（23）的出口（29）；和次级泵（26，28），所述次级泵具有被连接用于泵送第三真空腔室（18，20）的入口（31，33）和连接到增压泵入口（27）的出口（35，37）。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 系统 | ||
【主权项】：
一种真空系统，包括串联连接的多个真空腔室和用于有差别地泵送所述腔室的真空泵送装置，所述真空泵送装置包括：主泵，所述主泵具有被连接用于泵送所述真空腔室中的第一个的入口和用于在大气压处或周围排放的出口；增压泵，所述增压泵具有被连接用于泵送所述真空腔室中的第二个的入口和连接到主泵入口的出口；和次级泵，所述次级泵具有被连接用于泵送所述真空腔室中的第三个的入口和连接到增压泵入口的出口。
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