[发明专利]近红外吸收膜组合物有效
| 申请号： | 201080036605.6 | 申请日： | 2010-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN102695762A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | D·L·戈德法布;M·格罗德;W·S·黄;S·刘;L·维克利奇;W·李 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | C09D5/32 | 分类号： | C09D5/32;H01L21/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 徐国栋;林柏楠 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种可固化液体配制剂，其包含：(i)一种或多种近红外吸收聚甲炔染料；(ii)一种或多种可交联聚合物；和(iii)一种或多种浇铸溶剂。本发明还涉及由交联形式的可固化液体配制剂组成的固体近红外吸收膜。本发明还涉及一种含有固体近红外吸收膜的涂层的微电子基质以及在近红外吸收膜在微电子基质与光致抗蚀剂膜之间的情况下将涂覆在微电子基质上的光致抗蚀剂层图案化的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 红外 吸收 组合 | ||
【主权项】：
一种可固化液体配制剂，其包含：(i)一种或多种近红外吸收聚甲炔染料；(ii)一种或多种可交联聚合物；和(iii)一种或多种浇铸溶剂。
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