[发明专利]化学放大型光致抗蚀剂组合物及其使用方法有效
| 申请号： | 201080036675.1 | 申请日： | 2010-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN102472971A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | R·A·迪佩托;R·D·艾伦;P·J·布罗克;H·特鲁昂 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华;徐志明 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 光致抗蚀剂组合物包含酚醛聚合物与无含醚部分和/或含羧酸部分的(甲基)丙烯酸酯基共聚物的掺合物及光酸产生剂。该(甲基)丙烯酸酯共聚物包含第一单体，其选自由以下各物组成的组：丙烯酸烷基酯、取代的丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸烷基酯、取代的甲基丙烯酸烷基酯及其混合物；和第二单体，其选自由以下各物组成的组：丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸酯或其混合物，该第二单体具有酸可裂解的酯取代基。本发明也公开利用该光致抗蚀剂组合物在基板上生成光致抗蚀剂图像的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 大型 光致抗蚀剂 组合 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种光致抗蚀剂组合物，其包含：酚醛聚合物与无含醚部分和/或含羧酸部分的(甲基)丙烯酸酯基共聚物的掺合物，该(甲基)丙烯酸酯基共聚物包含i)第一单体，其选自由以下各物组成的组：丙烯酸烷基酯、取代的丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸烷基酯、取代的甲基丙烯酸烷基酯及其混合物；及ii)第二单体，其选自由以下各物组成的组：丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯及其混合物，该第二单体具有酸可裂解的酯取代基；及光酸产生剂。
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