[发明专利]电子捕捉离解装置及相关方法有效
申请号: | 201080037975.1 | 申请日: | 2010-08-20 |
公开(公告)号: | CN102598203A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 格雷戈里·J·威尔斯 | 申请(专利权)人: | 安捷伦科技有限公司 |
主分类号: | H01J49/26 | 分类号: | H01J49/26;H01J49/08 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 柳春雷 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本申请涉及电子捕捉离解装置及相关方法,一种电子捕捉离解装置包括离子导向电极、电子发射器和电子控制设备。离子导向电极被沿着中心轴线布置并且在圆周上隔开以限定沿着中心轴线延伸的内部空间。电子发射器部署在内部空间的外部。电子控制设备被配置用来在两个离子导向电极之间沿着径向电子束方向将来自电子发射器的电子束朝着中心轴线聚焦,并且用来在沿着电子束方向引导的具有可调电位的DC减速场中对电子束减速。 | ||
搜索关键词: | 电子 捕捉 离解 装置 相关 方法 | ||
【主权项】:
一种电子捕捉离解装置,包括:第一轴向端;沿着中心轴线部署在离所述第一轴向端一段距离处的第二轴向端;从所述第一轴向端到所述第二轴向端沿着所述中心轴线布置的多个离子导向电极,这些离子导向电极围绕所述中心轴线在圆周上彼此隔开并且在与所述中心轴线正交的横向平面中以一段径向距离部署,其中,所述离子导向电极限定了沿着所述中心轴线从所述第一轴向端到所述第二轴向端延伸的离子导向件内部空间;电子发射器,部署在所述离子导向件内部空间的外部;以及电子控制设备,被配置成在两个离子导向电极之间沿着径向电子束方向并且在轴向上在所述第一轴向端和所述第二轴向端之间把来自所述电子发射器的电子束朝着所述中心轴线聚焦,并且被配置成在沿着所述电子束方向具有可调电位的直流减速场中对所述电子束减速。
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