[发明专利]功能性纳米微粒无效
| 申请号： | 201080039342.4 | 申请日： | 2010-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN102648438A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | S·V·斯里尼瓦桑;S·杨;F·Y·徐;V·辛格 | 申请（专利权）人： | 分子制模股份有限公司;得克萨斯州大学系统董事会 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 可使用至少一个纳米平版印刷步骤来形成功能性纳米微粒。在一个实施例中，可使用压印平版印刷系统在多层衬底上对牺牲材料进行布图。图案可进一步被蚀刻在多层衬底之内。然后可将功能性材料沉积到多层衬底上并使之凝固。至少一部分功能性材料随后被去除以提供使柱露出的树冠表面。可将柱从多层衬底去除，从而形成功能性纳米微粒。 | ||
| 搜索关键词： | 功能 纳米 微粒 | ||
【主权项】：
一种压印平版印刷方法，包括：形成多层衬底，所述多层衬底包括：耦合的可去除层以及耦合于所述可去除层的牺牲材料层；使用第一压印平版印刷模板对所述牺牲层进行布图，以提供经布图的层，所述经布图的层具有残留层和多个凸起和多个凹槽的图案；将所述凸起和凹槽的图案转移到所述可去除层中；将功能性材料沉积到所述可去除层的凹槽中；对所述功能性材料进行布图以提供经布图的功能性材料层，所述经布图的功能性材料层具有在所述可去除层中的多个柱；以及从所述多层衬底脱去柱。
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