[发明专利]用于生产多晶硅的装置以及用于控制该装置的方法

摘要

本发明公开了一种用于根据甲硅烷工艺生产多晶硅的系统和方法。提供至少一个反应器（10），至少一个转炉（20），至少一个注入箱（30）和至少一个汽化器（40）。各反应器（10）具有用于新鲜的气体混合物的进气管（11a）以及用于不完全用尽的气体混合物的排气管（11b）。同样地，各转炉（20）包括用于气体混合物的排气管（21）而各汽化器（40）包括用于气体混合物的排气管（41）。用于要测量的样本的若干取样元件（7）提供在各反应器（10）的进气管（11a）和排气管（11b）内，以及各转炉（20）的排气管（21）和各汽化器（40）的排气管（41）内。提取的要测量样本由取样元件（7）经由导管（8）供给至少一个气相色谱仪（2）。

主权项

一种用于生产多晶硅的装置，其具有至少一个反应器（10），其特征在于，用于要测量的样本的至少一个取样元件（7）提供在所述至少一个反应器（10）的进气管（11a）和排气管（11b）内，并且至少一个气相色谱仪（2）从所述取样元件（7）经由至少一个导管（8）接收提取的样本。