[发明专利]非接触式物体检查有效
| 申请号： | 201080040329.0 | 申请日： | 2010-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN102483319A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 尼古拉斯·约翰·韦斯顿;伊冯娜·鲁思·赫德阿特 | 申请（专利权）人： | 瑞尼斯豪公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/25 |
| 代理公司： | 北京明和龙知识产权代理有限公司 11281 | 代理人： | 郁玉成 |
| 地址： | 英国格*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明一种通过分析投映在物体上的图案的相位来检查物体的一范围的表面状况的非接触式方法。该方法包括取得物体的从第一视角获得的第一图像，光学图案投映在物体上；以及取得物体的从第二视角获得的第二图像，光学图案投映在物体上，但第二图像中的光学图案当落到物体上时不同于第一图像中的光学图案。该方法还包括基于与在第一图像中成像时的光学图案的至少一个区域的相位相关的相位数据确定描述物体的至少一个区域的表面状况的数据。使用在第二图像中成像时的物体的对应区域获得的相位数据解决从第一图像获得的相位或表面状况数据中的任何模糊。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 物体 检查 | ||
【主权项】：
一种通过分析投映在物体上的图案的相位检查物体的一范围的表面状况的非接触式方法，包括：i)取得物体的第一图像，该第一图像从第一视角获得，光学图案投映在物体上；ii)取得物体的第二图像，该第二图像从第二视角获得，光学图案投映在物体上，但其中所述第二图像中的光学图案当落到物体上时不同于所述第一图像中的光学图案；以及iii)基于相位数据确定描绘物体的至少一个区域的表面状况的数据，所述相位数据与在所述第一图像中成像时的光学图案的至少一个区域的相位相关，其中使用从在所述第二图像中成像时物体的对应区域获得的相位数据来解决从所述第一图像中获得的相位或表面状况数据中的任何模糊。
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