[发明专利]用于测量能量粒子束的设备和方法

摘要

本发明涉及用于来自源的能量粒子束的剂量测定设备，其包括至少第一和第二电离腔，每个电离腔包括集电极和极化电极，每个电离腔的所述集电极和极化电极由包括流体的间隙或空间分隔，来自相同源的能量粒子束穿过所述电离腔，所述设备的特征在于所述电离腔具有不同的电荷收集效率因数。所述粒子束沉积的剂量率的计算算法基于每个电离腔中的输出信号的测量结果并基于与第一电离腔相关的增益因数，所述增益因数基于所述电离腔的本征和/或非本征参数在理论上预先确定。

主权项

1.一种用于来自源的能量粒子束的剂量测定设备，其包括至少第一和第二电离腔(IC1和IC2)，每个电离腔包括集电极和极化电极，每个电离腔的所述集电极和极化电极由包括流体的间隙或空间分隔，所述电离腔构造为被来自相同源的能量粒子束穿过，所述设备的特征在于所述电离腔具有不同的电荷收集效率因数，并且该设备包括获取设备，所述获取设备连接至基于以下方面执行计算由所述粒子束沉积的剂量率的算法的计算机：-测量每个所考虑电离腔中的输出信号；以及-关于第一电离腔的“增益”因数由以下等式给出：G=1-(i1i2)norm1-f1]]>其中-G是关于第一电离腔(IC1)的“增益”因数，是两个所考虑电离腔(IC1和IC2)中的输出信号(i₁和i₂)的理论值由其相应放大因数的比率(R1/R2)归一化的比率，对于所考虑电离腔，每个放大因数取决于的所述流体、所述间隙的宽度以及粒子束在所述流体中的穿透能力，-f₁是第一电离腔(IC1)中的电荷收集效率因数的理论值，所述输出信号的理论值(i₁，i₂)和f₁以所述所考虑腔(IC1和IC2)的本征参数和/或非本征参数为函数并且以粒子束的电流强度值为函数计算，所述增益因数与所述粒子束的所述值无关。