[发明专利]感光性树脂组合物及感光性树脂膜的制造方法有效
| 申请号： | 201080040527.7 | 申请日： | 2010-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN102549497A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 三好一登;富川真佐夫 | 申请（专利权）人： | 东丽株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;G03F7/004;G03F7/037;G03F7/16;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物能够抑制随着减压干燥产生气泡、形成干燥后的膜厚均匀性优异的感光性树脂膜。本发明的感光性树脂组合物的特征在于，含有：(a)选自聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰亚胺的前体、及聚苯并噁唑的前体中的至少1种以上的树脂、(b)感光剂、(c)大气压下的沸点为100℃以上130℃以下的有机溶剂及(d)大气压下的沸点为150℃以上、20℃下的粘度大于1.1mPa·s、小于1.5mPa·s的有机溶剂，且(c)成分的含量相对于有机溶剂总量为40重量％以上90重量％以下，(d)成分的含量相对于有机溶剂总量为10重量％以上60重量％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有：(a)选自聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰亚胺的前体、及聚苯并噁唑的前体中的至少1种以上的树脂、(b)感光剂、(c)大气压下的沸点为100℃以上130℃以下的有机溶剂及(d)大气压下的沸点为150℃以上、20℃下的粘度大于1.1mPa·s、小于1.5mPa·s的有机溶剂，且(c)成分的含量相对于有机溶剂总量为40重量％以上90重量％以下，(d)成分的含量相对于有机溶剂总量为10重量％以上60重量％以下。
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