[发明专利]横向等值线的划线、缝缀、以及简化的激光器与扫描器控制无效

专利信息
申请号: 201080040617.6 申请日: 2010-08-05
公开(公告)号: CN102498580A 公开(公告)日: 2012-06-13
发明(设计)人: J·范;A·P·马内斯 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/042;B23K26/36
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陆嘉;钱孟清
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 藉由控制例如扫描器速度及激光器切换点等方面,利用激光划线形成在工件内的片段的缝缀点可获得改善,例如以容许引入、引出、以及重迭时期。可选择缝缀点的位置以使缝缀点与现有接线重合,从而现有接线会在发生偏移时连接这些片段的功能。
搜索关键词: 横向 等值线 划线 缝缀 以及 简化 激光器 扫描器 控制
【主权项】:
一种在工件划线时产生改善的缝缀的系统,至少包含:至少一个激光器,所述激光器可操作以产生能够从所述工件的至少一部分除去材料的输出;以及至少一个扫描器,所述扫描器可操作以引导来自所述至少一个激光器的输出以形成第一及第二划线片段;其中所述扫描器的速度、所述激光器的切换、以及所述划线片段的图案化的至少之一被选择,以使所述工件上的所述第一划线与所述第二划线至少部分重迭。
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