[发明专利]分布式离子源加速镜筒有效
| 申请号： | 201080041464.7 | 申请日： | 2010-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN102598195A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | J.J.麦克莱兰;B.J.克努夫曼;A.V.斯蒂尔;J.H.奥尔洛夫 | 申请（专利权）人： | FEI公司;美国商务部国家标准和科技研究所 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J37/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘春元;卢江 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 离子束系统使用诸如阻性管的单独加速电极来在保持扩展、亦即分布式离子源处的低电场的同时将离子加速，从而改善分辨率。可以使用磁光陷阱作为离子源。 | ||
| 搜索关键词： | 分布式 离子源 加速 | ||
【主权项】：
一种用于提供用于被指引到样品台上的样品的聚焦离子束的离子的离子源，包括：源区，用于包含过冷中性原子；源电极，其在源区的一侧上；提取电极，其在形成源电极的源区的相对侧上，提取电极具有孔，源电极和提取电极提供跨越源区具有源电场强度的源电场；能量源，其用于使过冷中性原子中的至少某些电离以产生离子，该离子被源电场加速通过孔；以及阻性管，其沿着管具有不同的电位以从提取电极中的孔接收离子并将离子加速。
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