[发明专利]使用脉冲序列退火方法将薄膜固相再结晶的方法

摘要

本发明实施例提供使用多个电磁能量脉冲将薄膜固相再结晶的方法。在一个实施例中，可使用本发明方法通过将多个能量脉冲传递至结晶晶种区域或层来退火整个基板表面或基板表面的选择区域以再结晶非晶层，其中在结晶晶种区域或层上沉积有所述非晶层，使得所述非晶层具有如下方结晶晶种区域或层的相同晶粒结构及晶体定向。

主权项

一种将沉积在基板上的层相转变的方法，所述方法包含：在所述基板上沉积绝缘层；在所述绝缘层的期望区中形成晶种区域，所述晶种区域具有呈第一相结构的第一材料；在所述绝缘层的至少一部分和所述晶种区域上沉积具有第二相的第一材料层；以及使用该晶种区域作为一晶种，朝向所述晶种区域的表面引导多个电磁能量脉冲维持一段足以再结晶及转化所述第一材料层的时间，其中所述晶种区域的所述表面上沉积有所述第一材料层，以使所述第一材料层自所述第二相结构转为所述第一相结构并具有如下方所述晶种区域的相同晶粒结构及晶体定向。