[发明专利]用于生产具有彩色干涉过滤器层的基材的方法、包含彩色干涉过滤器层的所述基材、所述基材作为彩色太阳能电池或作为彩色太阳能模块或作为其构件的应用以及包括至少两个此基材的阵列

摘要

本发明涉及通过具有涂覆装置，特别借助于溅射气体，尤其是物理或化学的气相沉积用于生产具有彩色干涉过滤器层的基材的方法，所述基材包含一种或多种多晶金属氧化物，在此方法中由气相沉积出至少两个，尤其至少6个，各自重叠沉积形成多晶金属氧化物的涂层，所述涂层分别具有在约50nm-350nm范围内的平均厚度，尤其在约90nm-210nm范围内，其中至少一种，尤其分别每种包含于在每种情况中至少两层，尤其所有涂层中的金属的平均以百分比计的原子比例偏差不超过各金属在干涉过滤器层中的平均以百分比计的构成的+/-20原子％，优选不超过+/-10原子％和特别优选不超过+/-5原子％，其中100原子％表示所有包含在所述层中的金属的总和。本发明还涉及据此方法可获得的彩色基材以及包含多个这种基材的阵列。

主权项

通过使用涂覆装置，特别是借助于溅射气体进行物理或化学气相沉积而制备具有包含一种或多种多晶金属氧化物的彩色干涉过滤器层的基材的方法，其中由气相沉积出至少两层、尤其至少6层各自重叠的涂层，形成多晶金属氧化物，所述涂层分别具有在约50 nm‑350 nm 范围内，尤其在约90 nm‑210 nm 范围内的平均厚度，其中至少一种、尤其每一种包含于在每种情况中至少两层、尤其所有涂层中的金属的平均以百分比计的原子比例与各金属在干涉过滤器层中的平均以百分比计的组成的偏差不超过+/‑20原子％，优选不超过+/‑10原子％和特别优选不超过+/‑5原子％，其中100原子％表示所有包含在所述层中的金属的总和。