[发明专利]弹性表面波装置有效
申请号: | 201080042556.7 | 申请日: | 2010-09-22 |
公开(公告)号: | CN102549923A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 门田道雄 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/145 | 分类号: | H03H9/145;H03H9/25;H03H9/64 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 樊建中 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: |
本发明提供一种能谋求弹性表面波的音速的高速化以及机电耦合系数(k2)的增大,进而能提高反射系数的弹性表面波装置。弹性表面波装置(1)具备压电基板、和形成于压电基板上且由金属构成的电极(3),其中,所述压电基板具有:r面、a面或m面的蓝宝石基板(2a)、和形成于蓝宝石基板(2a)上且欧拉角( |
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搜索关键词: | 弹性 表面波 装置 | ||
【主权项】:
1.一种弹性表面波装置,其特征在于,具备压电基板和电极,其中,所述压电基板具有:R面、a面或m面的蓝宝石基板;和形成于所述蓝宝石基板上且欧拉角(
θ,ψ)为(90°,90°,-15°~15°)的LiNbO3膜,所述电极形成于所述压电基板上,且由金属构成。
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