[发明专利]模具和模具的制造方法以及防反射膜

摘要

本发明的蛾眼用模具的制造方法包含：工序(a)，对铝膜(18)的表面(18s)进行阳极氧化，由此形成具有多个微细凹部(14p)的多孔氧化铝层(14)；工序(b)，在工序(a)之后，使多孔氧化铝层与蚀刻液接触，由此使多孔氧化铝层的多个微细凹部扩大；以及工序(c)，在工序(b)之后，进一步对表面进行阳极氧化，由此使多个微细凹部成长，在工序(c)中施加的电压高于在工序(a)中施加的电压。根据本发明，可提供能抑制在1个细孔中形成多个微细孔的模具的制造方法。

主权项

一种模具的制造方法，上述模具在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向观看时的二维大小大于等于50nm小于500nm的多个凹部，上述模具的制造方法包含：工序(a)，对铝基材的表面进行阳极氧化，由此形成具有多个微细凹部的多孔氧化铝层；工序(b)，在上述工序(a)之后，使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，由此使上述多孔氧化铝层的上述多个微细凹部扩大；以及工序(c)，在上述工序(b)之后，进一步对上述表面进行阳极氧化，由此使上述多个微细凹部成长，在上述工序(c)中施加的电压高于在上述工序(a)中施加的电压。