[发明专利]抗反射光致抗蚀剂组合物

摘要

本发明涉及用于光致抗蚀剂层的抗反射涂料组合物，其包含聚合物，交联剂和酸产生剂，其中聚合物包含至少一个结构1单元，(结构式I)(I)其中，X是连接部分，其选自非芳族的(A)组成部分，芳族(P)组成部分及其混合物，R′是结构(2)的基团，R″独立地选自氢，结构(2)的组成部分，Z以及W-OH，其中Z是(C₁-C₂₀)烃基组成部分以及W是(C₁-C₂₀)亚烃基连接部分，以及，Y′独立地是(C_1-C₂₀)亚烃基连接部分，其中结构(2)是(结构式II)(II)其中R₁以及R₂独立地选自H以及C₁-C₄烷基以及L是有机烃基。此外本发明涉及使该抗反射涂料组合物成像的方法。

主权项

1.用于光致抗蚀剂层的抗反射涂料组合物，其包含聚合物、交联剂以及酸产生剂，其中该聚合物包含至少一个结构1单元，其中，X是选自非芳族(A)组成部分、芳族(P)组成部分及其混合物的连接部分，R′是结构(2)的基团，R″独立地选自氢、结构(2)的组成部分、Z以及W-OH，其中Z是(C₁-C₂₀)烃基组成部分以及W是(C₁-C₂₀)亚烃基连接部分，以及Y′独立地是(C₁-C₂₀)亚烃基连接部分，其中结构(2)是其中R₁以及R₂独立地选自H以及C₁-C₄烷基以及L是有机烃基。