[发明专利]降低复杂度的薄膜电池方法有效
| 申请号： | 201080045805.8 | 申请日： | 2010-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN102576898A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 秉-圣·郭;尼蒂·M·克里希纳 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01M10/04 | 分类号： | H01M10/04;H01M10/0525 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;钟强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 叙述一种降低复杂度的薄膜电池方法。在此还叙述适用于支援降低复杂度的薄膜电池方法的处理设备配置。在此还描述支援降低复杂度的薄膜电池方法的群组工具(cluster tool)。 | ||
| 搜索关键词： | 降低 复杂度 薄膜 电池 方法 | ||
【主权项】：
一种制造薄膜电池的方法，所述方法包含：在基板上方形成所述薄膜电池的阴极层；以及在不让所述阴极层曝露至空气环境的情况下，在所述阴极层上形成电解质层。
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