[发明专利]伺服控制装置

摘要

控制部(100)对伺服电动机(40)进行反馈控制，对作为负载的工作台(02)进行伺服控制。反特性模型(300)求出对机械系统的动态的误差进行补偿的速度补偿信号(V300)，进行前馈补偿控制。当滚珠丝杠(30)的螺纹部(31)的沿轴向的刚性变化时，刚性变化补偿部(400)根据该刚性变化，使反特性模型(300)的补偿控制用传递函数所包含的螺纹部的沿轴向的刚性值变化。由此，即使进给机构的滚珠丝杠(30)因经年变化或温度变化进行伸缩而沿着轴向的刚性变化，也能够补偿此种刚性变化，从而准确地对工作台(02)的位置进行伺服控制。

主权项

一种伺服控制装置，对工业机械进行控制，该工业机械将伺服电动机的旋转运动通过含有滚珠丝杠的进给机构转换成直线运动，并通过转换的直线运动来使负载进行直线移动，所述伺服控制装置的特征在于，具备：反特性模型，其设定由所述伺服电动机、所述进给机构及所述负载构成的机械系统的传递函数的反传递函数即补偿用传递函数，当表示所述负载的指令位置的位置指令信号(θ)向所述补偿用传递函数输入时，输出对所述机械系统的动态的误差要因进行补偿的补偿信号(V300)；控制部，其以使所述位置指令信号(θ)与表示所述负载的位置的负载位置信号(θL)的偏差即位置偏差信号(Δθ)成为零、且和所述位置偏差信号(Δθ)成比例的速度偏差信号(ΔV)与表示所述伺服电动机的速度的电动机速度信号(ωM)的偏差成为零的方式进行反馈控制，进而，根据所述补偿信号(V300)进行前馈补偿控制，从而控制向所述伺服电动机供给的电流；刚性变化补偿部，其由计算所述滚珠丝杠的螺纹部的伸缩量(st)的滚珠丝杠伸缩量计算部、根据计算出的螺纹部的伸缩量(st)来计算所述滚珠丝杠的沿着轴向的弹簧刚性(KL)的值的弹簧刚性计算部、将计算出的弹簧刚性(KL)的值作为所述补偿用传递函数的运算式所包含的弹簧刚性(KL)的值来设定的弹簧刚性设定部构成。