[发明专利]压印用模具及其制造方法、压印装置和压印方法有效
申请号: | 201080047799.X | 申请日: | 2010-10-19 |
公开(公告)号: | CN102574327A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 白鸟聪;坂本宽;海田由里子 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | B29C59/04 | 分类号: | B29C59/04;B29C59/02;H01L21/027;B29L7/00;B29L9/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供使在接合部分产生的台阶较小的环带状的压印用模具及其制造方法,以及能够抑制环带状的压印用模具的接合部分的台阶所引起的残存有未固化的光固化性组合物的情况的压印装置及压印方法。压印用模具(10),其通过使表面上具有微细图案的一片以上的树脂薄膜(12)在其端部彼此相对接的状态下进行熔接而使该一片以上的树脂薄膜相接合,并使该树脂薄膜(12)成为环带状来形成;具有压印用模具(10)的压印装置;以及使用压印用模具(10)的压印方法。 | ||
搜索关键词: | 压印 模具 及其 制造 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种压印用模具,其中,该压印用模具是通过如下方式形成的,即,对于表面上具有微细图案的一片以上的树脂薄膜在将该一片以上的树脂薄膜的端部彼此相对接的状态下进行熔接而使该一片以上的树脂薄膜相接合,从而将该一片以上的树脂薄膜做成环带状。
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