[发明专利]晶圆载具无效
| 申请号： | 201080048140.6 | 申请日： | 2010-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN102598238A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 林钟显;郑领哲;刘泳钟;金永均;崔铉喆 | 申请（专利权）人： | EMP有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;B65D85/86;B65D85/38 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 杨黎峰;李欣 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆载具，包括：一对侧板，所述一对侧板具有在其顶端形成的吊孔和插入孔；侧支撑杆，所述侧支撑杆固定在所述侧板的两侧，以使侧板相隔预定的距离，并且具有在内侧沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；底部支撑杆，所述底部支撑杆固定在所述侧板的底部，以使侧板相隔预定的距离，并且具有在顶部沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；及屏蔽杆，所述屏蔽杆可拆卸地插入所述插入孔中，并且具有在所述屏蔽杆的底部沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；其中，形成所述插槽，以使所述插槽的中部低于在所述插槽的底表面的宽度方向上的两端。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆载具 | ||
【主权项】：
一种晶圆载具，包括：一对侧板，所述一对侧板具有在所述一对侧板的顶端形成的吊孔和插入孔；侧支撑杆，所述侧支撑杆固定在所述一对侧板的两侧，以使所述一对侧板相隔预定的距离，并且所述侧支撑杆具有在所述侧支撑杆的内侧沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；底部支撑杆，所述底部支撑杆固定至所述一对侧板的底表面，以使所述一对侧板相隔预定的距离，并且所述底部支撑杆具有在所述底部支撑杆的顶部沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；以及屏蔽杆，所述屏蔽杆可拆卸地插入所述插入孔中，并且具有在所述屏蔽杆的底部沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；其中，所述插槽形成为使所述插槽的中部低于在所述插槽的底表面的宽度方向上的两端。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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