[发明专利]使用具有有益的脉冲波形的激光脉冲群在薄膜材料中划线的方法及装置

摘要

脉冲序列中的一系列脉冲在基底上的材料薄膜中划线，每个脉冲具有有益的时域功率波形而不是传统的激光时域功率波形。有益的时域脉冲波形具有尖峰/平台-椅状波形或矩形脉冲波形。在薄膜中划线是通过以下方式来完成的：将一系列激光脉冲光斑放置在待划线上，使得在沿着线的相邻激光脉冲光斑之间具有交叠面积。与使用传统脉冲波形实现的划线加工相比，使用一系列具有有益脉冲波形的激光脉冲而在薄膜中划线产生了较好的品质和较干净的划线加工。

主权项

一种在沉积在基底上的材料薄膜中划出图案的基于激光的加工方法，包括：选择适合于在所述基底上的薄膜材料中划出图案的有益的激光脉冲时域功率波形，以使得在所述基底中在所述薄膜中划出的所述图案处没有形成能够观察到的裂纹；以及提供特征在于第一脉冲和至少9个跟随脉冲的一系列激光脉冲，其中，所述一系列激光脉冲中的每个激光脉冲的特征在于所述有益的激光脉冲时域功率波形，并且所述一系列激光脉冲中的每个激光脉冲的特征还在于具有激光光斑面积的激光光斑；以及将所述第一脉冲的所述激光光斑放置在所述薄膜材料上的光斑位置处；以及将所述一系列脉冲中的所述跟随脉冲中的每个脉冲的所述激光光斑放置在沿着所述薄膜上的图案的光斑位置处，以使得每个光斑位置与前一个脉冲的所述激光光斑的所述光斑位置相邻，并且存在光斑位置的交叠，以使得每个光斑的面积与每个前一个光斑的面积交叠一定量。