[发明专利]用于VCSEL的故障检测方法和故障检测设备有效
| 申请号： | 201080048532.2 | 申请日： | 2010-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN102598438A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 中田敦;山形智枝美;田中聪 | 申请（专利权）人： | 矢崎总业株式会社 |
| 主分类号： | H01S5/00 | 分类号： | H01S5/00;H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京泛诚知识产权代理有限公司 11298 | 代理人： | 陈波;文琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于在短时间内以低成本检测损坏的VCSEL的方法。尚未遭受ESD损坏的多模VCSEL呈现示出了与激活层和上下反射器(DBR)的结构对应的若峰值数目的发光频谱。另一方面，已经遭受ESD损坏并且具有损坏的激活层的VCSEL呈现出了示出比最初峰值数目少的峰值，例如两个或更少的峰值，的发光频谱。因此，发光频谱分析器分析该发光频谱，并且当峰值的数目等于或少于预定数目，例如两个或更少时，确定已经发生ESD损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 vcsel 故障 检测 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种用于VCSEL的故障检测方法，包括：获得所述VCSEL的输出光的步骤；通过分析所述输出光的发光频谱确定该输出光的该发光频谱的峰值数目的步骤；以及当所述峰值数目小于预定数目时，判定在所述VCSEL中已经发生故障的步骤。
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