[发明专利]具有冷却器板的有机蒸汽喷射装置有效
| 申请号： | 201080049000.0 | 申请日： | 2010-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN102597299A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | P·E·布罗斯;S·H·莫汉 | 申请（专利权）人： | 通用显示公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/56 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 董敏 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种装置。所述装置包括：喷嘴(310)、与所述喷嘴流体连通的载体气体源和有机分子源。所述装置还包括与所述喷嘴相邻设置的主动冷却系统(322)。优选地，所述装置还包括腔体，其中，所述喷嘴和所述主动冷却系统设置在所述腔体内。基底保持器也可以设置在所述腔体内，所述基底保持器适于将基底支承在所述喷嘴的下方，能够相对于所述喷嘴移动。优选地，基底由所述基底保持器保持，所述基底设置在距所述主动冷却系统0.1mm至10mm的距离处。优选地，所述装置还包括附接到所述喷嘴上的加热系统(350)。所述加热系统附接到所述喷嘴上的位置优选地包括距所述喷嘴的顶端为0至5mm的至少一个位置。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 冷却器 有机 蒸汽 喷射 装置 | ||
【主权项】：
一种装置，包括：喷嘴；与所述喷嘴流体连通的载体气体源和有机分子源；以及与所述喷嘴相邻设置的主动冷却系统。
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