[发明专利]包含金属的复合材料有效
申请号: | 201080050230.9 | 申请日: | 2010-06-11 |
公开(公告)号: | CN102812155A | 公开(公告)日: | 2012-12-05 |
发明(设计)人: | 路军岭;P.C.斯泰尔 | 申请(专利权)人: | 西北大学 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/30;B01J23/48;B01J37/02;B01J37/08 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 吴培善 |
地址: | 美国伊*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 实施方式包括包含金属(102)的复合材料(100)和形成包含金属的复合材料的方法。包含金属的复合材料可以通过以下步骤形成:使氧化物载体表面(104)与具有金属原子的配位化合物接触第一预定时间,其中配位化合物的金属原子沉积在氧化物载体表面上;使所述氧化物载体表面与第一试剂接触第二预定时间;和使所述第一试剂与第二试剂接触第三预定时间,其中所述第一试剂和所述第二试剂反应形成所述氧化物载体表面的另一个层。 | ||
搜索关键词: | 包含 金属 复合材料 | ||
【主权项】:
形成包含金属的复合材料的方法,包括:进行多个原子层沉积周期以形成包含金属的复合材料,其中一个或多个原子层沉积周期包括相续地进行以下步骤;使氧化物载体表面与具有金属原子的配位化合物接触第一预定时间;使所述氧化物载体表面与对所述配位化合物惰性的第一试剂接触第二预定时间;和使所述第一试剂与对所述配位化合物惰性的第二试剂接触第三预定时间,其中所述第一试剂和所述第二试剂在20°C至300°C的温度反应形成所述氧化物载体表面的另一个层。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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