[发明专利]醌重氮化物类感光剂溶液及正性光致抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 201080050927.6 | 申请日： | 2010-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN102597876A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 金谷纮希 | 申请（专利权）人： | 索尼化学&信息部件株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C07C303/42;C07C309/76;G03F7/022 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 孔青;高旭轶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 为了即使不实施热变性处理，在能够抑制或防止醌重氮化物类感光剂从正性光致抗蚀剂组合物析出的同时在制备正性光致抗蚀剂组合物时使醌重氮化物类感光剂易溶于正性光致抗蚀剂组合物，将醌重氮化物类感光剂溶于有机溶剂而成的醌重氮化物类感光剂溶液含有巯基化合物作为醌重氮化物类感光剂的防析出剂。另外，正性光致抗蚀剂组合物含有碱可溶性树脂、交联剂、醌重氮化物类感光剂、作为醌重氮化物类感光剂的防析出剂的巯基化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 重氮化 物类 感光剂 溶液 正性光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
醌重氮化物类感光剂溶液，所述溶液为醌重氮化物类感光剂溶于有机溶剂而成的醌重氮化物类感光剂溶液，其特征在于，含有巯基化合物作为醌重氮化物类感光剂的防析出剂。
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