[发明专利]单晶相变材料有效
申请号: | 201080051124.2 | 申请日: | 2010-11-03 |
公开(公告)号: | CN102639257A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 林钟汉;A.G.施罗特;陈介方 | 申请(专利权)人: | 国际商业机器公司;旺宏电子股份有限公司 |
主分类号: | B05D5/00 | 分类号: | B05D5/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 邱军 |
地址: | 美国纽*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种制造相变存储器(PCM)单元的方法,包括:在电极之上形成电介质层,电极包括电极材料;在电介质层中形成通孔,使通孔向下延伸到该电极;以及在通孔中的电极上生长相变材料的单晶。一种相变存储器(PCM)单元,包括:包含电极材料的电极;电极之上的电介质层;电介质层中的通孔;以及位于通孔中的相变材料的单晶,该单晶与通孔底部的电极接触。 | ||
搜索关键词: | 相变 材料 | ||
【主权项】:
一种制造相变存储器(PCM)单元的方法,该方法包括:在电极之上形成电介质层,该电极包含电极材料;在该电介质层中形成通孔,使该通孔向下延伸到该电极;以及在该通孔中的该电极上生长相变材料的单晶。
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