[发明专利]使用精细液态金属熔滴的形状变化的RF MEMS开关

摘要

本发明提供了使用精细液态金属熔滴的RF MEMS开关，该RF MEMS开关能够被快速地操作且对冲击和运动是稳固的。根据本发明的一个实施方式，使用精细液态金属熔滴的RF MEMS开关包括：第一层构件，其包括信号传输线；第二层构件，其布置在第一层构件上，形成室以便通过处理信号传输线而引起精细液态金属熔滴的形状变化，并且在室的一侧上形成通孔，以便使信号传输线与形状在室中被改变的精细液态金属熔滴接触或不接触；操作构件，其布置在第二层构件上，且定位在室的开口侧上，以便通过室的开口侧将形状变化的能力提供给精细液态金属熔滴；以及第三层构件，其调整操作构件的位置，并且与第一层构件和第二层构件耦合。

主权项

一种使用精细液态金属熔滴的RF MEMS开关，包括：第一层构件，其具有信号传输线；第二层构件，其布置在所述第一层构件上，且具有室和通孔，所述室对应于所述信号传输线而形成，以便引起所述精细液态金属熔滴的形状的变化，以及所述通孔在所述室的一侧形成，以便使所述精细液态金属熔滴与所述信号传输线接触或不接触，所述精细液态金属熔滴的形状在所述室中被改变；操作构件，其布置在所述第二层构件上，且设置在所述室的开口侧，以便通过所述室的所述开口侧将可变形性提供给所述精细液态金属熔滴；以及第三层构件，其用于限定所述操作构件的位置，并且耦合到所述第一层构件和所述第二层构件。