[发明专利]多层反射镜无效
| 申请号： | 201080051848.7 | 申请日： | 2010-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN102612668A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | V·克里夫特苏恩;A·亚库宁;V·梅德韦杰夫 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B5/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴敬莲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种多层反射镜(100)配置用于反射极紫外(EUV)辐射、同时吸收第二辐射，所述第二辐射的波长基本上长于EUV辐射的波长。所述反射镜包括：叠置在基底(104)上的多个层对(110、112)。每个层对包括第一层(112)和第二层(110)，所述第一层包括第一材料，所述第二层包括第二材料。第一层(112)被改变，使得相比于具有相同厚度的相同金属的单层，减少了所述第一层对反射所述第二辐射的贡献。所述改变可以包括在金属层中或者金属层周围掺杂第三材料，以通过化学键合或者电子俘获来减小其导电性，和/或以绝缘层将金属层分成多个子层。在叠层中的层的数量大于已知的多层反射镜，并且可以被调整以获得最小的IR反射。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 反射 | ||
【主权项】：
一种多层反射镜，配置用于反射极紫外(EUV)辐射、同时吸收第二类型的辐射，所述第二类型的辐射的波长基本上比EUV辐射的波长长，所述反射镜包括：叠置在基底上的多个层对，每个层对包括第一层和第二层，所述第一层包括第一材料，所述第二层包括第二材料，其中在所述多个层对的至少一个层对子集中的第一层被改变，使得相比于具有相同厚度的第一材料的单层，减少了所述第一层对反射所述第二辐射的贡献。
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