[发明专利]体声波谐振器及其制造方法无效
| 申请号： | 201080052314.6 | 申请日： | 2010-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN102742156A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | A.贾科拉;H.库伊斯马 | 申请（专利权）人： | VTT科技研究中心;VTI技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/15;H03H3/04;H03H3/007;H01P7/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 段俊峰;李家麟 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种新颖的体声波（BAW）谐振器设计及其制造方法。所述体声波谐振器包括：谐振器部分，其设有至少一个空隙，所述空隙具有在所述谐振器部分上形成连续封闭路径的沟槽的形式。通过在与所述谐振器部分的外部尺寸相同的处理步骤中制造所述空隙，处理变化对谐振器的谐振频率的影响可被减小。通过本发明，BAW谐振器的精确度可被增加。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种体声波（BAW）谐振器，包括：谐振器部分，其中，在所述谐振器部分内提供至少一个空隙，其特征在于，所述空隙具有在所述谐振器部分上形成连续封闭路径的沟槽的形式。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于VTT科技研究中心;VTI技术有限公司，未经VTT科技研究中心;VTI技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080052314.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
